压力传感器结构主要采用的是压阻式和电容式。压阻式传感器应用是最为广泛的。国内大部分生产厂家依赖进口压阻式传感器,来设计制造国产变送器,这也是一个很好的途径,因为压阻式技术相对来说比较成熟,用来作为国产化研制比较合适。它的缺点是受温度、湿度等环境因素影响比较大,静压特性依赖于制造的工艺水平,国内工艺水平也需要提高。基于这两点,国产压阻式传感器的精度和稳定性比国外还是要低一些。
电容式压力传感器的优点在于测量精度高、长期稳定性好,但是,它对生产工艺和加工难度依赖性更大,有些工艺技术还被国外封锁住,所以,要想生产出优良的电容式压力传感器,工艺技术必须优先解决。国内厂家也在一步步摸索,可喜的是,现在有的单位已经研制出的硅电容传感器,精度和静压特性同国外相比差别不是很大,但是稳定还是差一些。此外,国内的电容传感器在高差压和微差压规格的开发上仍有较大差距。
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